(1)光切法显微镜可使用测微目镜表面粗糙度的实测平均相对高度值RZ，以及粗糙度的平均相对高度值RZ对表面粗糙度等级的影响按中国标准。

在精确测量中，精确测量的表面积不小于五个峰。

为了合理、快速地进行精确测量，需要根据所列数据选择物镜。

(2)待检工件的放置和显微镜的聚焦

1.待检工件放在工作台上时，表层的加工线应平行于显微镜的直光轴平面，即垂直于间隙像。并使精确的测量面平行于控制台平面(精确到1)；圆柱形或圆锥形工件可以放在工作台的V形块上。

2.选择合适的物镜，插在滑板上。拆卸物镜时，先按下手柄。插入所需物镜后，放松手柄即可。

3.连接电源变压器和照明灯，调整粗调手轮和微调手轮，使其聚焦在精确的测量平面上，使视野中出现清晰的间隙图像和表面轮廓图像。如果间隙边缘图像(下边缘)和表面轮廓图像不能同时清晰，可以稍微转动手轮。正常情况下，请不要转动。

4.松开测微目镜的紧固螺钉，转动测微目镜使水平线水平，并用螺钉将其固定在此位置。此时，目镜中十字线的移动方向与间隙图像形成45°角。之后，就可以进行表面轮廓平整度的精确测量。

注意:为了合理地对圆柱体进行精确测量，必须同时调整手术台和显微镜，使显微镜能够准确地聚焦在圆柱体顶部的母线上。因此，需要使手术台垂直于圆柱体的轴线(平行于加工条纹)移动，必要时再次对显微镜进行对焦。

(3)轮廓平面度的精确测量

为了准确测量表面轮廓的平面度，需要使间隙的平行分割水平线与间隙的清晰边缘(下边缘)的高点相切。然后在目镜分划板和千分尺筒上记下读数，再使水平线的水平线与窄间隙清边的低点相切，第二次记下分划板和筒的读数。

(4)带有辅助物镜的物镜放大率

为了确定物镜的放大率V，在进行轮廓面的精确测量时，需要用0.01mm的标准比例尺进行精确测量。首先将标准刻度尺放在仪器的工作台上，调整标准刻度尺刻线使其在目镜视场内成像清晰，使刻线与间隙像垂直，刻线水平线的移动方向与间隙像平行。然后将刻线板水平线的交点对准标准尺的一端，根据测微目镜的刻线板和千分尺鼓进行读数。将水平线的交点移到标准刻度的另一端，然后用同样的方法进行二次读数。此时，测微目镜的两个读数之差与标准刻度的选定部分的刻度数之比是显微镜物镜的放大率v。

(5)拍摄表面微观轮廓

为了在光切法显微镜上开发微观剖面。