在意义上，基于光切原理测量表面粗糙度的方法称为光切法，是测量工件上表面的微小峰谷深度等一系列问题。这种方法可以使表面接触平行于光束，然后利用光带的角度投射到表面上进行测量。但是你会发现会有一些微观的几何变化，这就是光切原理的现象。

　　我们可以用表面轮廓的波峰和波谷之间的较大和较小高度来衡量，而在这个过程中，物镜的分辨率和阴影深度可能是有限的。然而，该峰和谷的高度在一定范围内，在目镜中，你可以清楚的看到真实的图像，但是你无法测量，测量误差会很大，所以我们用这种成本低，作业简单的方法，很常见。这就是光切的原理。

　　光切法显微镜是根据光切原理制成的。它是用光切法测量和观察机械制造中零件已加工表面微观几何形状的表面粗糙度测量仪器。主要用于测量规则曲面的高度特征参数Rz和Ry，以及间距特征参数S和Sm。然而，为了测量截面轮廓的微凹凸深度和槽宽的实际尺寸，需要在目镜视场中获得被测表面的实物图像，这是每个作业者面临的问题。众所周知，成像质量会直接影响测量精度。

　　物镜的合理选择和安装

　　光切法显微镜配有四对不同放大率的物镜，每对物镜都有一定的测量范围。测量前，根据被测零件的表面粗糙度，选择合适的物镜，插入仪器的V型槽中。只有选择合适的物镜，仪器的表面粗糙度才能与物镜的成像深度相适应，否则会产生较大的焦距误差。

　　指出当测量结果接近更高倍率物镜的测量范围时，应选择更高倍率的物镜进行复测。

　　通常来说，光切法显微镜的照明物镜和观察物镜是可以互换的，对测量没有影响；然而，某些类型的光切显微镜是不同的，它们的照明物镜和观察物镜的光学参数也不相同。这时要注意按照厂家说明使用。